516系列
特點：
l 階差減小的高度從NO.1到NO.5。
l 相鄰階差校準(zhǔn)的分辨率0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm
l 可選用鋼制型和陶瓷型。
l 階差規(guī)用于校準(zhǔn)相鄰高度的精度。
性能參數(shù)
公制型
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貨號
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備注
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516-198
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鋼制型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
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516-199
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鋼制型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）
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516-498
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陶瓷型（階差：10μm/5μm/2μm/1μm）
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516-499
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陶瓷型（階差：300μm/100μm/50μm/20μm）
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